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物品 |
章条号 |
表面(点对点) 电阻或端以端电阻 |
对地电阻 |
穿戴状态下 对地电阻 |
说明 |
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工作台面 |
5.6.1 |
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7.5x105~1.0x1010 |
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7.5x105~1.0x109 |
—— |
—— |
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地板、地垫 |
5.6.2 |
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1x105~1.0x1010 |
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1x105~1.0x109 |
—— |
—— |
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腕带 |
5.6.3
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—— |
≤1.0x105 |
—— |
从内表面对地测量 |
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—— |
—— |
7.5x105~3.5x107 |
—— |
||||
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7.5x105~5.0x106 |
—— |
—— |
腕带连线端对端测量 |
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鞋束 |
—— |
5x104~1.0x108 |
—— |
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存放架,运输小车 |
5.6.4 |
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7.5x105~1.0x1010 |
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7.5x105~1.0x109 |
—— |
—— |
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周转容器 |
5.6.5 |
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7.5x105~1.0x1010 |
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—— |
—— |
—— |
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工作椅 |
5.6.6 |
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≤1.0x1010 |
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7.5x105~1.0x109 |
—— |
—— |
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工作服 |
5.6.8 |
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1x105~1.0x1010 |
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1.0x105~1.0x1010 |
—— |
—— |
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防静电鞋、袜 |
5.6.9 |
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—— |
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—— |
5x104~1.0x1010 |
双脚测量 |
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手套、指套 |
5.6.10 |
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—— |
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—— |
7.5x105~1.0x1010 |
单只测量 |
除非制造工艺要求需要使用导(静)电地板,EPA应采用静电耗散地板或地垫并接地良好,其对地电阻和表面(点对点)电阻的要求见表1。对地电阻的测量原理按SJ/T10694的图5。表面(点对点)电阻的测量原理按SJ/T10694的图4,每4m2随机抽取5点并取中心对四角4次测量结果的平均值,测量点遗著板的边缘不得小于10mm。
5.6.3ESD防护腕带、鞋束(足跟带)
在ESD防护工作台面的二个角落上应配置供腕带接地用的插孔(即EBP)二个,一个供操作人员使用,另一个供其他相关人员使用。
腕带内表面(与手腕的接触面)对地电阻应符合表1的规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.1条。
在腕带被除数佩戴情况下,对地电阻应符合表1的规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.3条。
供连接腕带用的腕带连线,其端对端之间的电阻应符合表1规定,其测量原理及方法按SJ/T10694第6.9.2条。
在使用腕带不方便的情况下,在使用鞋束(足跟带)进行人体防护接地。鞋束(足跟带)应由静电耗散材料制作,其系统电阻值应符合表1,测量原理及方法按SJ/T10694第6.10条。
5.6.4物品存放架、内部运输小车(物流车)
应能通过支脚或轮子接地,它与工件接触的表面应由静电耗散材料制作。对地电阻和表面(点对点)电阻值应符合不1。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.8条。表面临着点对点)电阻的测量原理及方法近SJ/T10694第6.4.1条。
5.6.5转容器(箱、盘、盒)其内、外表面(点对点)电阻应符合表1规定。电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.7条。
5.6.6工作椅
工作椅应能通过支脚或轮接地,在正常操作情况下与人体接触的表面应由耗散材料制作。工作椅的对地电阻和表面(点对点)电阻值应符合表1规定。对地电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.5.1条。表面(点对点)电阻的测量原理及方法按SJ/T10694第6.5.2条。
5.6.7电烙铁
焊头部位应进行硬接地,从焊头到接地系统的电阻应不大于2Ω。
5.6.8工作服
工作服应符合GB12014的规定,其各部分之间应存在着电气连续性。工作服的设计应能保持其在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。必要时,其上应设置专门的接地连接点(见图3),在穿用过程中通过导线接地。工作服的以地电阻和表面(点对点)电阻要求按表1,其测量原理分别见图3和图4。测量电极为圆柱形,直径50mm,重量2kg。
5.6.9防静电鞋、袜
进入EPA的人员应穿用防静电鞋。鞋的性能要求应符合GB4385的规定。在穿用状态下,鞋、袜对地电阻值应符合表1规定,测量原理及方法按SJ/T10694第6.11条。
5.6.10防静电手套、指套
手套或指南应由静电耗散材料制作,在佩戴情况下其对地电阻要求就符合表1。对地电阻的测量原理按图5,测量电极为圆形金属板,直径最小20mm,或使用金属夹子。
5.7防静电门
必要时,门反手应能导静电,例如经过防静电处理或由静电耗散材料制作,以便当人员进入EPA时通过手握把手来消除人体电荷。
5.8墙壁、天花板
墙壁、天花板应选用静电耗散材料制作。如选用石膏、石灰等材料,只要其摩擦起电电压不大于该级EPA允许的对地静电电位值(按SJ/T10694第5条方法测试)是可以的,但不允许使用普通塑料或壁纸。
5.9技术管理要求
5.9.1人员培训
凡与EPA相关的工作人员,均需经过基本防静电知识的培训操作人员应掌握各种器具的使用技能和操作规则与方法。
5.9.2静电源控制
凡易于产生摩擦静电的材料,例如普通塑料、橡胶、合成纤维等,在EPA内不准使用。
5.9.3包装
进入EPA的元器件或组件,必须使用防护罩或袋进行防静电包装(包括非ESDS产品)。即使已被发现为失效的元器件或组件,以送去修复或进行失效原因分析之前,同样需要与正常品一样进行防静电包装。并且,包装与拆包装操作均需在EPA内进行。
5.9.4人体防护
5.9.4.1凡进入EPA的人员必须穿防静电工作服(见5.6.8条)长头发的人员应佩戴由防静电布料制作的工作帽,以防头发与ESDS产品发生接触放电。
5.9.4.2凡与ESDS产品接触的人员,包括操作人员、工程技术或管理人员、参见人员等,需佩戴防静电腕带(见5.6.3条)并应保持其与人体、与接地系统都接触可靠。当使用鞋束(足跟带)时(见5.63条),应捆扎牢固,保持人体有可靠边的接地。
5.9.4.3凡进入EPA的人员必须穿防静电工作鞋(见5.6.9条),并应保持与防静电地板或地垫妥善接触以泄漏人体静电荷。
5.9.4.4必要时,应佩戴防静电手套或指套进行操作(见5.6.10条)。
5.9.4.5在EPA内的人员不准进行与工作无关的肢体活动。
5.9.5文件资料防护
在EPA内使用的文件资料,其与别的物体之间或文件自身之间的接触分离,所产生的静电位不能大于该EPA所允许的对地静电电位值。必要时,这些文件资料应装在透明防静电包装袋内。
5.9.6EPA验收要求
新建成或经过改建而成的EPA,投入使用前应经过技术验收。验收工作由使用单位负责人组织相关部门和人员进行。应按第5章所列各项要求进行检查或测量,确认其符合规定要求后方允许投入使用。检查和测量的记录应存档。
5.9.7EPA维护与检查要求
对EPA各项技术要求,必须经常性地进行检查、监测,以维持其各项性能符合本标准的规定。检查的频次如表2所示。
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检查频次 |
章条号 |
项目名称 |
检查方式 |
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每日一次 |
5.4.1 |
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环境温度 |
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测量 |
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5.4.2 |
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相对湿度 |
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测量 |
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5.4.3 |
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气压 |
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测量 |
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5.6.3 |
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佩戴腕带情况下人体对地电阻 |
|
测量 |
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5.6.9 |
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穿着防静电鞋、袜情况下人体对地电阻 |
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测量 |
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5.9.4.1 |
防静电服装穿戴情况 |
目视 |
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5.9.4.2 |
防静电腕带或鞋束(足跟带)佩戴情况 |
目视 |
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5.9.4.3 |
防静电鞋穿戴情况 |
目视 |
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每周1次 |
5.6.1 |
|
防护工作台面接地情况 |
|
目视 |
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5.6.2 |
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地板、地垫接地情况 |
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目视 |
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5.5 |
系统接地情况 |
目视 |
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每月1次 |
5.3 |
标记情况 |
目视 |
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5.1 |
静电位水平 |
测量 |
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5.6.8 |
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工作服对地电阻和表面(点对点)电阻 |
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测量 |
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5.6.10 |
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防静电手套、指套对地电阻 |
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测量 |
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5.4.4 |
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静电消除器中和能力 |
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测量 |
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每季度1次 |
5.6.1 |
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工作台面对地电阻和表面(点对点)电阻 |
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测量 |
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5.6.2 |
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地板、地垫对地电阻和表面(点对点)电阻 |
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测量 |
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5.6.5 |
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周转容器表面(点对点)电阻 |
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测量 |
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5.6.6 |
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工作椅对地电阻和表面(点对点)电阻 |
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测量 |
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5.6.7 |
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电烙铁接地电阻 |
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测量 |
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5.6.4 |
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存放器、小车对地电阻和表面(点对点)电阻 |
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测量 |
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建成后第一年每季度1次,以后每21个月1次 |
5.5 |
系统接地电阻 |
测量 |
检查频次章条号项目名称检查方式
每日一次5.4.1环境温度测量
5.4.2相对湿度测量
5.4.3气压测量
5.6.3佩戴腕带情况下人体对地电阻测量
5.6.9穿着防静电鞋、袜情况下人体对地电阻测量
5.9.4.1防静电服装穿戴情况目视
5.9.4.2防静电腕带或鞋束(足跟带)佩戴情况目视
5.9.4.3防静电鞋穿戴情况目视
每周1次5.6.1防护工作台面接地情况目视
5.6.2地板、地垫接地情况目视
5.5系统接地情况目视
每月1次5.3标记情况目视
5.1静电位水平测量
5.6.8工作服对地电阻和表面(点对点)电阻测量
5.6.10防静电手套、指套对地电阻测量
5.4.4静电消除器中和能力测量
每季度1次5.6.1工作台面对地电阻和表面(点对点)电阻测量
5.6.2地板、地垫对地电阻和表面(点对点)电阻测量
5.6.5周转容器表面(点对点)电阻测量
5.6.6工作椅对地电阻和表面(点对点)电阻测量
5.6.7电烙铁接地电阻测量
5.6.4存放器、小车对地电阻和表面(点对点)电阻测量
建成后第一年每季度1次,以后每21个月1次5.5系统接地电阻测量
注:①当配备有厂房洁净装置时,洁净度的测量频次和方法按装置说明书或有关工艺设计文件的规定进行.
1)因气压波动不大,不要求每**录。但对于流动EPA,每当移动后其地处海拔高度有重大变化时,应记录气压。
2)静电消除器中和能力的测量按其产品规范中指明的方法进行。并应选取在最不利的位置处测量。
6说明事项
6.1预定用途
本标准所规定的EPA,适宜作为ESDS电子产品的场所(A级),也可作为ESDS电子整机产品机房(例如程控交换机房、电子计算机机房、电子设备方舱等)使用(B级)。对于其他ESDS产品(例如火工、医药等)的加工场所可参照使用。
6.2防静电器材、物品配置说明
EPA内各种防静电器材和物品的种类与数量的配置,视其具体用途而定,但人体防护器材必须配备。对于为完成某一项临时性的现场修理任务,可使用防静电维修包来来创造一个临时性的防静电工作环境,包括必备的人体防护器、良好的接地措施及必要的工具的和包装器具等。