清洗能力是指在一定条件下，除去粘附于工件表面污染物的能力。其一，是指污染物除去的数量或污染物允许残留的程度；其二，是指除去一定数量污染物所需的时间。
清洁度是指工件洁净的程度。可用工件上残留的污染物的重量来表示，也可用工件上残留污染物的粒子大小和数量来表示，也可用残留的金属原子、离子和离子污染度来表示，或用残留的有机物、有机碳含量来表示。如对于做相对运动的机械零部件来说，对使用寿命和可靠性影响最大的问题是粒子污染，并且是粒子的大小和数量，尤其是粒径大小刚好与机械运动副的配合间隙相当时，造成的影响和危害最大。因为太大的粒子进不到间隙中，太小的粒子可在间隙中游动。所以，早期清洁度用重量法来评价的后来有的就更改为用粒度法来评价了。国际标准(ISO)中，清洁度采用的也是粒度法。电子产品中，对可靠性影响最大的问题是残留的离子污染，离子污染会造成电泄漏、电迁移，造成短路、电化学腐蚀、改变电性能、改变绝缘电阻等。所以，常用离子污染度来评价电子产品的清洁度。
由于工件表面存在粘附污染物的能量，所以绝对的净化表面是不可能的，对多数应用来说，只要表面污染减少到最小限度，最后没有明显影响就可以了。
表面清洁度应符合以下2条标准：
a．必须满足下道工序的要求；
b．必须保证工件、产品(仪器和设备)具有足够好的性能、使用寿命和可靠性。
